高溫等離子體PFC氣體怎么分解？

PFC氣體全稱(chēng)全氟化合物|（PRE FLUORO CARBON），常見(jiàn)的有CF₄、C₂F₅、CHF₃等氣體。PFC的地球溫室效應系數（global warming potential，縮寫(xiě)GWP）比CO₂要高數千倍甚至數萬(wàn)倍（如CF₄壽命50000年），因此，相對少量的PFC排入大氣，也會(huì )產(chǎn)生很大累計效果，對地球溫室效應具有長(cháng)期深遠影響，PFC氣體在排入大氣前需要進(jìn)行無(wú)害化分解處理。

    

現代工業(yè)生產(chǎn)中，特別是半導體產(chǎn)業(yè)和LCD液晶面板產(chǎn)業(yè)中，PFC氣體由于具有相對較低的價(jià)格、無(wú)毒、使用方便、效果好等優(yōu)勢，被廣泛用于干法蝕刻工藝氣體和化學(xué)氣相沉積（chemical vapor de-position CVD）裝置洗凈等工程中。

高溫等離子炬分解法對PFC氣體高溫分解轉換成低分子量和親水性極性化合物，如CO₂、HF、COF₂，接著(zhù)進(jìn)行水霧吸收中和工藝進(jìn)一步清除有害氣體。整個(gè)工藝過(guò)程不需要特別燃料，燃燒效率高，沒(méi)有多余副產(chǎn)物氣體生成，體積小，利于增設在現有設備上，價(jià)格相對低廉，是PFC氣體無(wú)害化處理最理想的方法。